رسوب شیمیایی بخار در اصل از بهر رسوب دادن فلزات به سمت تنهایی توسط انتقال در خلاء و بدون انجام واکنش شیمیایی استفاده می شده است. روش بخار کردن در خلاء: یک منبع بخار و یک زیرلایه در یک محفظه بیهوا (شکل 1-3 الف) استفاده می شود. منبع بخار معمولاً یک بوته گرم شده توسط آیین مقاومتی الا القایی است برای دانلود کل پاپورپوینت از لینک زیر استفاده کنید: ...